Dados Gerais do Componente Curricular
| Tipo do Componente Curricular: |
DISCIPLINA |
| Unidade Responsável: |
PROGRAD-COORDENAÇÃO-GERAL DOS BACHARELADOS INTERDISCIPLINARES (11.01.05.22) |
| Código: |
ESZM029-13 |
| Nome: |
ENGENHARIA DE FILMES FINOS |
| Carga Horária Teórica: |
36 h. |
| Carga Horária Prática: |
12 h. |
| Carga Horária de Ead: |
0 h. |
| Carga Horária Estudo Individual: |
0 h. |
| Carga Horária Total: |
48 h. |
| Pré-Requisitos: |
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| Co-Requisitos: |
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| Equivalências: |
( ESZM029-17 )
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| Excluir da Avaliação Institucional: |
Não |
| Matriculável On-Line: |
Sim |
| Horário Flexível da Turma: |
Sim |
| Horário Flexível do Docente: |
Sim |
| Obrigatoriedade de Nota Final: |
Sim |
| Pode Criar Turma Sem Solicitação: |
Não |
| Necessita de Orientador: |
Não |
| Possui Subturmas: |
Não |
| Exige Horário: |
Sim |
| Quantidade de Avaliações: |
2 |
| Ementa/Descrição: |
Introdução a filmes finos; Estrutura cristalina de filmes finos: amorfo, epitaxia e texturização; Defeitos em filmes finos ( vacâncias, deslocamentos, contorno de grão); Morfologia e microestruturas : nanocristalina, policristalina; Modelos de nucleação de filmes finos; Técnicas de deposição de filmes finos (PVD, Sputtering, vaporização, CVD, MOCVD, MBE, PLD); Deposições de filmes via soluções químicas (Sol-Gel, LPE); Filmes automontados (self-assembly). Filmes de Langmuir e Langmuir-Blodgett. Técnicas de de caracterização: Composição e estrutura cristalina: difração de raios X e elétrons, espectroscopia de massa, RBS, elétrons Auger, PIXE; Espessura e topografia: elipsometria, perfilometria, microscópio eletrônico, AFM e STM; Propriedades óticas, elétricas e mecânicas; Design e aplicações de filmes finos. |
| Referências: |
FREUND, L B; SURESH, S. Thin film materials: stress, defect formation, and surface evolution. Cambridge, UK: Cambridge University Press, 2009. 750 p.
OHRING, Milton. The materials science of thin films: deposition & struture. 2nd ed.. San Diego, CA: Academic Press, 2002. 794 p.
SMITH, Donald L. Thin-film deposition: principles and practice. New York: McGraw-Hill, 1995. , 616 p. GROZA, Joanna R. Materials processing handbook. Boca Raton, FL: CRC Press, 2007.
NALWA, Hari Singh. Handbook of thin film materials: deposition and processing of thin films. San Diego: Academic Press, 2002. 5 v.
TU, K-N. MAYER, W. ; FELDMAN L. C. Electronic Thin Film Science for Electrical Engineers and Materials Scientists, Prentice Hall, 1992.
SORIAGA, Manuel P et al. Thin films: preparation, characterization,applications. New York: Kluwer Academic/Plenum, 2001. 367 p. |
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